Normennummer: YS/T 28-2015(YS/T28-2015)
Chinesisch:硅片包装
Deutsch:Wafer-Verpackung
Wirksamkeitsdatum:2015-10-01
Standardanwendbarkeit:Diese Norm gilt für Silizium monokristalline polierte Wafer, epitaktische Wafer, SOI und andere Silizium-Wafer saubere Verpackung, Silizium monokristalline Schleifen Wafer (als Silizium-Schleifen Wafer) Verpackung und Solarzelle Wafer Verpackung, so dass es in den Prozess der Transport, Lagerung zu vermeiden Re-Kontamination und gebrochen.
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