YS/T 25-1992 Reinigungsverfahren für polierte Siliziumwaferoberflächen Normennummer: YS/T 25-1992(YS/T25-1992)Chinesisch:硅抛光片表面清洗方法Deutsch:Reinigungsverfahren für polierte Siliziumwaferoberflächen Wirksamkeitsdatum:1993-01-01Standardanwendbarkeit: Als PDF herunterladbar: N