YS/T 23-2016 Silizium-Epitaxieschichtdickenbestimmung Stacked Layer Staggered Dimension Methode

Normennummer: YS/T 23-2016(YS/T23-2016)
Chinesisch:硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
Deutsch:Silizium-Epitaxieschichtdickenbestimmung Stacked Layer Staggered Dimension Methode

Wirksamkeitsdatum:2016-09-01
Standardanwendbarkeit:

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