Normennummer: YS/T 1059-2015(YS/T1059-2015)
Chinesisch:硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法
Deutsch:Bestimmung des Gesamtkohlenstoffs in Silizium-Epitaxie-Trichlorhydrosilizium durch Gaschromatographie
Wirksamkeitsdatum:2015-10-01
Standardanwendbarkeit:Diese Norm gilt für die Bestimmung des Gesamtkohlenstoffgehalts in epitaktischem Trichlorhydrosilicium, der Bestimmungsbereich ist 0,00005% ~ 0,005%.
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