SJ/T 11763-2020 Spezifikation der Mensch-Maschine-Schnittstelle von Halbleiterfertigungsanlagen

Normennummer: SJ/T 11763-2020(SJ/T11763-2020)
Chinesisch:半导体制造设备人机界面规范
Deutsch:Spezifikation der Mensch-Maschine-Schnittstelle von Halbleiterfertigungsanlagen

Wirksamkeitsdatum:2021-04-01
Standardanwendbarkeit:

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