SJ/T 11761-2020 Spezifikation des Ladeanschlusses für Halbleiteranlagen für 200-mm-Wafer und darunter

Normennummer: SJ/T 11761-2020(SJ/T11761-2020)
Chinesisch:200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范
Deutsch:Spezifikation des Ladeanschlusses für Halbleiteranlagen für 200-mm-Wafer und darunter

Wirksamkeitsdatum:2021-04-01
Standardanwendbarkeit:

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