Normennummer: SJ/T 11504-2015(SJ/T11504-2015)
Chinesisch:碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法
Deutsch:Prüfverfahren für die Oberflächenqualität von monokristallinen polierten Siliciumcarbid-Wafern
Wirksamkeitsdatum:2015-10-01
Standardanwendbarkeit:
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