SJ/T 11489-2015 Messung der Ätzgrubendichte in polierten Indiumphosphid-Chips mit geringer Versetzungsdichte

Normennummer: SJ/T 11489-2015(SJ/T11489-2015)
Chinesisch:低位错密度磷化铟抛光片蚀坑密度的测量方法
Deutsch:Messung der Ätzgrubendichte in polierten Indiumphosphid-Chips mit geringer Versetzungsdichte

Wirksamkeitsdatum:2015-10-01
Standardanwendbarkeit:

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