SJ/T 10481-1994 Drei-Sonden-Methode mit Flächenkontakt für den spezifischen Widerstand von Silizium-Epitaxieschichten

Normennummer: SJ/T 10481-1994(SJ/T10481-1994)
Chinesisch:硅外延层电阻率的面接触三探针方法
Deutsch:Drei-Sonden-Methode mit Flächenkontakt für den spezifischen Widerstand von Silizium-Epitaxieschichten

Wirksamkeitsdatum:1994-10-01
Standardanwendbarkeit:

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