Normennummer: JC/T 2133-2012(JC/T2133-2012)
Chinesisch:半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
Deutsch:Bestimmung von Verunreinigungselementen in Siliziumsol für Halbleiter-Polierlösungen Atomemissionsspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma
Wirksamkeitsdatum:2013-06-01
Standardanwendbarkeit:
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