Normennummer: GB/T 42897-2023 (GB/T42897-2023)
Chinesisch:微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
Deutsch:Mikro-elektromechanische Systeme（MEMS）-Technologie-Zugfestigkeitsprüfverfahren für nanoskalige Membranen von MEMS auf Siliziumbasis
Wirksamkeitsdatum:2023-12-01
Regulierungsbehörde:Nationale Verwaltung für Normung in China
Regulierungsbehörde, die die Erlaubnis ausstellt:Staatliche Verwaltung für Marktaufsicht und Verwaltung,Nationale Verwaltung für Normung in China
Erfüllt internationale Standards:N
Als PDF herunterladbar:Y
