Normennummer: GB/T 41652-2022
Chinesisch:刻蚀机用硅电极及硅环
Deutsch:Silizium-Elektrode und Silizium-Ring für Plasma-Ätzmaschine
Wirksamkeitsdatum:2023-02-01
Regulierungsbehörde:Nationale Verwaltung für Normung in China
Regulierungsbehörde, die die Erlaubnis ausstellt:Staatliche Verwaltung für Marktaufsicht und Verwaltung,Nationale Verwaltung für Normung in China
Erfüllt internationale Standards:N
Als PDF herunterladbar:Y
