GB/T 40109-2021 Chemische Oberflächenanalyse-Sekundärionen-Massenspektrometrie-Methode zur Tiefenprofilierung von Bor in Silizium

Normennummer: GB/T 40109-2021
Chinesisch:表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法
Deutsch:Chemische Oberflächenanalyse-Sekundärionen-Massenspektrometrie-Methode zur Tiefenprofilierung von Bor in Silizium

Wirksamkeitsdatum:2021-12-01
Regulierungsbehörde:Nationale Verwaltung für Normung in China
Regulierungsbehörde, die die Erlaubnis ausstellt:Staatliche Verwaltung für Marktaufsicht und Verwaltung,Verwaltung für Normung in China (SAC)

Erfüllt internationale Standards:Y
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