Normennummer: GB/T 34893-2017
Chinesisch:微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法
Deutsch:Technologie für mikroelektromechanische Systeme – Messverfahren für Längenmessungen in der Ebene von MEMS-Mikrostrukturen mit einem optischen Interferometer
Wirksamkeitsdatum:2018-05-01
Regulierungsbehörde:Nationale Verwaltung für Normung in China
Regulierungsbehörde, die die Erlaubnis ausstellt:Allgemeine Verwaltung für Qualitätsüberwachung, Inspektion und Quarantäne der Volksrepublik China (General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People’s Republic of China),Verwaltung für Normung in China (SAC)
Erfüllt internationale Standards:N
Als PDF herunterladbar:Y
