Normennummer: GB/T 32816-2016
Chinesisch:硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
Deutsch:MEMS-Fertigungstechnologie auf Siliziumbasis – Spezifikation für das Kriterium der Kombination von Tiefätz- und Bondverfahren
Wirksamkeitsdatum:2017-03-01
Regulierungsbehörde:Nationale Verwaltung für Normung in China
Regulierungsbehörde, die die Erlaubnis ausstellt:Allgemeine Verwaltung für Qualitätsüberwachung, Inspektion und Quarantäne der Volksrepublik China (General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People’s Republic of China),Verwaltung für Normung in China (SAC)
Erfüllt internationale Standards:N
Als PDF herunterladbar:Y
