Normennummer: GB/T 30868-2014
Chinesisch:碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
Deutsch:Prüfverfahren zur Messung der Mikroröhrchendichte von monokristallinen Siliziumkarbid-Wafern – Chemisches Ätzen
Wirksamkeitsdatum:2015-02-01
Regulierungsbehörde:Nationale Verwaltung für Normung in China
Regulierungsbehörde, die die Erlaubnis ausstellt:Allgemeine Verwaltung für Qualitätsüberwachung, Inspektion und Quarantäne der Volksrepublik China (General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People’s Republic of China),Verwaltung für Normung in China (SAC)
Erfüllt internationale Standards:N
Als PDF herunterladbar:Y
