Normennummer: GB/T 30652-2023 (GB/T30652-2023)
Chinesisch:硅外延用三氯氢硅
Deutsch:Trichlorsilan für die Silizium-Epitaxie
Wirksamkeitsdatum:2024-03-01
Regulierungsbehörde:Nationale Verwaltung für Normung in China
Regulierungsbehörde, die die Erlaubnis ausstellt:Staatliche Verwaltung für Marktaufsicht und Verwaltung,Nationale Verwaltung für Normung in China
Erfüllt internationale Standards:N
Als PDF herunterladbar:Y
