Normennummer: GB/T 24578-2015
Chinesisch:硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法
Deutsch:Testverfahren zur Messung der Oberflächenmetallverschmutzung auf Siliziumwafern durch Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie
Wirksamkeitsdatum:2017-01-01
Regulierungsbehörde:Nationale Verwaltung für Normung in China
Regulierungsbehörde, die die Erlaubnis ausstellt:Allgemeine Verwaltung für Qualitätsüberwachung, Inspektion und Quarantäne der Volksrepublik China (General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People’s Republic of China),Verwaltung für Normung in China (SAC)
Erfüllt internationale Standards:N
Als PDF herunterladbar:Y
