Normennummer: GB/T 19922-2005
Chinesisch:硅片局部平整度非接触式标准测试方法
Deutsch:Standardprüfverfahren zur Messung der Ebenheit von Siliziumwafern durch berührungsloses Abtasten
Wirksamkeitsdatum:2006-04-01
Regulierungsbehörde:Ministerium für Industrie und Informationstechnologie (Elektronik)
Regulierungsbehörde, die die Erlaubnis ausstellt:Allgemeine Verwaltung für Qualitätsüberwachung, Inspektion und Quarantäne der Volksrepublik China (General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People’s Republic of China),Verwaltung für Normung in China (SAC)
Erfüllt internationale Standards:N
Als PDF herunterladbar:Y
