Normennummer: GB/T 16880-1997
Chinesisch:光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
Deutsch:Richtlinien für die Klassifizierung und Größenbestimmung von Fotomaskenfehlern
Wirksamkeitsdatum:1998-03-01
Regulierungsbehörde:Nationale Verwaltung für Normung in China
Regulierungsbehörde, die die Erlaubnis ausstellt:Staatliches Büro für technische Überwachung
Erfüllt internationale Standards:Y
Als PDF herunterladbar:N
