Normennummer: GB/T 16879-1997
Chinesisch:掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则
Deutsch:Richtlinien für den Ausdruck von Präzision und Genauigkeit für Maskenschreibgeräte
Wirksamkeitsdatum:1998-03-01
Regulierungsbehörde:Nationale Verwaltung für Normung in China
Regulierungsbehörde, die die Erlaubnis ausstellt:Staatliches Büro für technische Überwachung
Erfüllt internationale Standards:Y
Als PDF herunterladbar:N
