Normennummer: GB/T 16527-1996
Chinesisch:硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
Deutsch:Spezifikation für Photoresist/E-Beam-Resist für Fotoplatten mit harter Oberfläche
Wirksamkeitsdatum:1997-05-01
Regulierungsbehörde:Nationale Verwaltung für Normung in China
Regulierungsbehörde, die die Erlaubnis ausstellt:
Erfüllt internationale Standards:Y
Als PDF herunterladbar:N
