Normennummer: EJ/T 20176-2018(EJ/T20176-2018)
Chinesisch:金刚石刀具刃口锋利度的原子力显微镜测量方法
Deutsch:Rasterkraftmikroskopische Messung der Kantenschärfe von Diamantwerkzeugen
Wirksamkeitsdatum:2018-05-01
Standardanwendbarkeit:Diese Norm legt die Verwendung von Rasterkraftmikroskop Messung von Diamant-Schneidkante Schärfe Messprinzip, Messung Anforderungen, Mess-Schritte, Datenverarbeitung und Prüfbericht. Diese Norm gilt für 20nm ~ 100nm Diamant Drehmaschine Schneide Schärfe Messung, mehr als 100nm Schneide Schärfe Messung kann auch auf die Umsetzung.
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